• 研究

2009/1/14

小柳光正教授が、新システム集積化技術の開発に成功！

東北大学工学研究科の小柳光正教授が、集積回路、センサー、MEMS、バイオチップなどの異種デバイスを一括搭載するシステム集積化技術（ヘテロ・インテグレーション技術）の開発に成功した。小柳教授は、これまでにシリコン貫通配線を用いた3次元LSIや3次元SiP技術を開発しており、3次元技術のパイオニアと言われている。今回の成果は、去る12月にアメリカ・サンフランシスコで開催された国際電子デバイス会議で発表して大きな注目を浴びており、1月14日（水）には同大学の東京分室において小柳教授が詳細の記者会見を行う。