• 研究

2008/4/23

新原理発見で、新たなイオンミリング装置の開発に成功

東北大学多元物質科学研究所では、軟X線多層膜ミラーの表面形状をナノメーターの精度で整える、新しいイオンミリング装置の開発に成功したと発表した。軟X線多層膜ミラーとは、半導体微細加工技術や宇宙の起源探索に必要なコンポーネント。今回の開発は、これまで不可能とされていた技術を打破するため、同研究所が新しい原理を発見したことで成功した。なお、同装置は、さまざまな形状の創成も可能である。