• 研究

2016/3/23

工場生産ライン用の非破壊検査用高感度X線スキャナを開発

東北大学多元物質科学研究所・百生敦教授と株式会社リガクは、工場生産ラインなどでの実用化を想定した非破壊検査用高感度X線スキャナを開発した。従来の影絵によって検査を行なうX線非破壊検査機器では、欠陥や異物検出に十分な性能を期待できない問題があった。今回開発したスキャナには、X線位相コントラストを利用してX線の微弱な屈折や散乱を画像検出する仕組みを搭載。欠陥や異物に対する感度を大きく改善したほか、ベルトコンベアで逐次移動する物体の検査も可能となった。成果は、3月19〜22日に行われた「第63回応用物理学会春季学術講演会」で発表され、実用化の目処が立てられている。